Descripción general del producto
La serie SX-PGABC es un manómetro mecánico de alta pureza diseñado para aplicaciones en semiconductores, fotovoltaica, biofarmacéutica, procesamiento de alimentos y gases especiales. El manómetro presenta una construcción soldada totalmente en acero inoxidable 316L, superficies en contacto con el fluido tratadas especialmente y conexiones a proceso de alta pureza opcionales. Se encuentran disponibles opciones de contacto eléctrico para salidas de conmutación de contacto simple o doble. Los acabados superficiales internos BA y EP están disponibles para cumplir con los requisitos de medición de presión en procesos limpios.
Características principales
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Superficies en contacto con el fluido electropulidas
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Probado al 100% contra fugas de helio; tasa de fuga ≤ 10⁻⁹ kPa·L/s
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Acabado superficial BA: rugosidad del canal interno Ra ≤ 0.4 μm (grado BA)
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Acabado superficial EP: rugosidad del canal interno Ra ≤ 0.25 μm (grado EP)
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Empaque sellado al vacío para sala blanca
Aplicación del producto
Industrias atendidas
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Medios gaseosos, líquidos o corrosivos
que requieren mediciones de alta pureza
y alta limpieza
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Procesamiento de obleas de semiconductores
y paneles fotovoltaicos: medición de presión
de gas ultrapuro
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Tecnología biofarmacéutica, tecnología
genética y medición de presión para
industrias relacionadas
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Datos técnicos
| Medición | |
| Tipo de medición | Medición de presión mecánica de alta pureza |
| Rango de medición | −0.1 MPa a 100 MPa; rangos estándar seleccionables desde vacío hasta 20 MPa |
| Diámetro de la esfera | 40 mm (1.5 in) / 50 mm (2 in) |
| Orientación de montaje | Radial / Axial |
| Precisión | |
| Clase de precisión | Grado B para esfera de 40 mm; Grado A para esfera de 50 mm, según ASME B40.1 |
| Limpieza y acabado superficial | |
| Nivel de limpieza | Cumple con los requisitos de procesos limpios de SEMI |
| Acabado superficial BA | Rugosidad superficial interna Ra ≤ 0.4 μm |
| Acabado superficial EP | Rugosidad superficial interna Ra ≤ 0.25 μm |
| Prueba de fugas | Probado al 100% contra fugas de helio; tasa de fuga ≤ 10⁻⁹ kPa·L/s |
| Empaque | Empaque sellado al vacío para sala blanca |
| Condiciones ambientales | |
| Protección contra ingreso | IP54 (IEC 60529) |
| Conexión a proceso y materiales | |
| Conexión a proceso | 9/16"-18 UNF macho o hembra / W-Seal / C-Seal / conexiones de alta pureza opcionales |
| Material de la conexión | Acero inoxidable 316L |
| Materiales en contacto | Construcción soldada totalmente en acero inoxidable 316L |
| Tratamiento superficial en contacto | Tratamiento especial al 100% en todas las superficies en contacto con el fluido |
| Opciones de salida | |
| Salida de conmutación | Contacto simple / Contacto doble / Salida de contacto PNP (opcional) |
Certificaciones y cumplimiento
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